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Halbleiterindustrie

Anwendungen für das Macsorb BET Oberflächenanalysegerät in der Halbleiterindustrie.

Das Macsorb BET Analysegerät von Mountech: Anwendungen in der Halbleiterindustrie 

Die Macsorb Oberflächenanalysegeräte bestimmen die spezifische Oberfläche von Proben nach der BET-Methode. In der Halbleiterindustrie kommen sie zur Qualitätssicherung bei der Produktion verschiedener Pulver und Partikel zum Einsatz. 

Vorteile

  • Vollautomatischer Messprozess ermöglicht schnelle und präzise Ergebnisse
  • Benutzerfreundliche Bedienoberfläche
  • Modulbauweise ermöglicht nachträgliche Erweiterungen der Grundeinheit 
  • Echtzeiterfassung und Verfolgung der Messergebnisse am Computer
  • Erfassung und Archivierung aller Daten von Adsorption bis zur Kalibrierung ­ermöglichen eine genaue Überprüfung der Wiederholgenauigkeit und Präzision
  • Einpunkt-BET-Analyse (optional auch Mehrpunkt-Analyse möglich)
  • Die kurzen Messzeiten von ca. 30-50 Minuten sind durch eine Vorwärmeinheit noch weiter reduzierbar

Optionen

  • Autosampler für Probenzuführung im automatisierten Betrieb mit 8, 10, 20 bzw. 30 Probenaufnahmen
  • Mehrpunktmessung für maximal vier Punkte
  • Vorheizeinheit für 1 Probe mit regelbarer Temperatur
  • Vorheizeinheit für 5 Proben mit einheitlicher Temperatur
  • Vorheizeinheit für 5 Proben mit einzeln regelbaren Temperaturen
  • Vorheizeinheit für 10 Proben mit 2 separat regelbaren Temperaturen
  • Automatische Zuführeinheit für flüssigen Stickstoff

Macsorb BET-Analysegeräte kommen zur Qualitätssicherung und Erprobung der folgenden Pulver zum Einsatz (Auswahl): 

  • Ferritpulver und magnetische Pulver: Zur Herstellung von Widerständen, Kondensatoren, Spulen und piezoelektrischen Bauteilen
  • Pulver aus Bariumtitanat (BaTiO3), Aluminiumoxid (Al2O3) und Zirkoniumoxid (ZrO2): Zur Herstellung elektronischer Komponenten aus Keramik. 
  • Tantal: Zur Herstellung von Tantal-Kondensatoren 
  • CNT-Pulver (Carbon Nano Tube): Zur Herstellung von CNT-Kondensatoren
  • Silika: Für Additive in verschiedenen elektronischen Bauteilen und Isolierungen
  • Polierpuder: Zum Polieren von Halbleiter-Elementen
  • Pulver zur Herstellung von Glasurmassen für Dichtungsmaterialien und Displays